问题 填空题

外延层的迁移率低的因素有原材料纯度();反应室漏气;外延层的晶体();系统沾污等;载气纯度不够;外延层晶体缺陷多;生长工艺条件不适宜。

答案

参考答案:不够;质量差

选择题
问答题 案例分析题