参考答案：

1流程卡与镀膜片相符

2可否同罩

3是否是被镀膜面

4膜料与程序里的坩埚号是否对应5档板的平稳，有无松动

6晶片的寿命及活性值。

7电子枪寿命及有无异物

8光控片是否够用