参考答案：

（1）检查前将各真空软管连接好，防止因真空泄漏而导致测量结果失准。

（2）检查时必须按规定对被检元件施加真空度，施加真空度过大会损坏被检元件。

（3）检查完毕后，在拆开连接的真空软管前，应先施放真空度，否则将灰尘、湿气等吸入被检元件内，会造成不良后果。