LPCVD紧随PECVD的发展而发展。由660℃降为450℃，采用增强的等离子体，增加淀积能量，即低压和低温。

直动式溢流阀是利用阀芯上端的（）直接与下端面的（）相平衡来控制溢流压力的，一般直动式溢流阀只用于调压（保压）系统。