参考答案：

DEH-IIIA系统的DEH控制柜硬件由下列部件组成：01柜-基本控制柜，包括冗余DPU和5个数据采集站，其中包含阀门控制站和OPC超速保护站。02柜-基本控制端子归。03柜-ATC控制与监视柜，包括冗余DPU和2个数据采集站。04柜-ATC端子柜。