轮廓算术平均偏差Ro的单位是( )。
A．km B．mm C．m D．μm
参考答案：D
解析：R0的单位为微米。
在裂隙带作业如何避免卡钎？
提高膜层聚集密度工艺有（）。
A、提高离子源功率
B、降低温度
C、降低真空度
D、提高温度
