氮化硅是一种高温陶瓷材料，它熔点高、硬度大、化学性质稳定，工业上曾普遍采用高纯硅与纯氮在1 300℃下反应制得．

（1）根据性质，推测氮化硅的用途是______（填序号）．

①制汽轮机叶片    ②制有色玻璃    ③制永久性模具    ④制柴油机

（2）氮化硅陶瓷抗腐蚀能力强，除氢氟酸外，它不与其他无机酸反应，试推测该陶瓷被氢氟酸腐蚀的化学反应方程式：______．

（3）四氯化硅和氮气在氢气的气氛保护下，加强热发生反应，可得较高纯度的氮化硅，反应的化学方程式为______．

英国的大学起源于（）