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问答题 简答题
化学气相沉积（CVD）
答案
参考答案：
常压化学气相沉积，低压化学气相沉积，激光化学气相沉积，金属有机化合物化学气相沉积，等离子体化学气相沉积等目的是制备耐磨，抗氧化，抗腐蚀固态薄膜，适用于复杂零件及难熔金属、石墨、陶瓷等基体材料零件处理，可沉积难熔金属
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化学气相沉积（CVD）
参考答案：
常压化学气相沉积，低压化学气相沉积，激光化学气相沉积，金属有机化合物化学气相沉积，等离子体化学气相沉积等目的是制备耐磨，抗氧化，抗腐蚀固态薄膜，适用于复杂零件及难熔金属、石墨、陶瓷等基体材料零件处理，可沉积难熔金属