参考答案：

对于表面原子的组分和分布等的分析，常采用各种能谱技术。电子能谱技术的基本原理就是用电子束、X射线、真空紫外光束等作为激发源，照射试样表面，使其激发出具有不同动能的电子（俄歇电子或光电子），从而得到这些电子动能统计分布的谱图，即电子能谱图。