参考答案：

（1）空位：肖脱基空位－离位原子进入其它空位或迁移至晶界或表面。弗兰克尔空位－离位原子进入晶体间隙。

（2）间隙原子：位于晶体点阵间隙的原子。

（3）置换原子：位于晶体点阵位置的异类原子。