参考答案：

有极高的选择性，干扰小；

核反应特性不受靶所处的物理和化学状态的影响，（条件允许时）样品可以在高温和高压下被分析；

适合分析重基体中的轻元素，特别是B、H、He、Li、Be、C、N、O、F、Na、Mg和A1等元素；

有较高的灵敏度和精密度，检出限可达10-7～10-4g·g-1；

适合对表面和近表面层内的元素进行分析，应用2～3MeV以下的粒子，比较适合的分析深度在1μm以下，其最大分析深度可达几个μm到十几个μm；

可给出表面或近表面层内杂质浓度随深度分布的情况；

经过高度准直和聚焦的微米束，可以进行杂质空间分布分析；

和固体的沟道效应相结合，可以确定杂质在晶格中的位置和进行晶体损伤的测量；

方法简便，分析速度快；

不破坏样品。