参考答案：⑴精度的表示方法不同，一般尺寸加工时，精度是用其加工误差与加工尺寸的比值（即精度比率）来表示的，在微细加工时，由于加工尺寸很小，精度就必须用尺寸的绝对值来表示，及用去除的一块材料的大小来表示，从而引入加工单位尺寸（简称加工单位）的概念，加工单位就是去除的一块材料的大小。

⑵微观机理不同，一般尺寸加工和微细加工的最大差别是切屑大小不同，在微细加工时，从强度和刚度上都不允许有大的吃刀量，因此切屑很小。

⑶加工特征不同，一般加工时多以尺寸、形状、位置精度为加工特征，在精密加工和超精密加工时也是如此，微细加工和超精细加工却以分离或结合原子、分子为加工对象，以电子束、离子束、激光束三束加工为基础，采用沉积、刻蚀、溅射、蒸镀等手段进行各种处理。这是因为它们各自所加工的对象不同而造成的。