信号发生器按输出波形分为正弦信号发生器、（）、函数信号发生器和噪声信号发生器。

选用的真空泵其功率等技术参数应能满足气室抽真空的最低要求，管径大小及强度、管道长度、接头口径应与被抽真空的气室大小相匹配。