参考答案：

1、AES具有很高的表面灵敏度，其采样深度为1～2nm，比XPS还要浅。更适合于表面元素定性和定量分析。

2、AES还具有很强的深度分析和界面分析能力。其深度分析速度比XPS要快得多，深度分析的深度分辨率也比XPS的深度分析高得多。常用来进行薄膜材料的深度剖析和界面分析。

3、AES还可以用来进行微区分析，且由于电子束束斑非常小，具有很高的空间分辨率。

4、可以进行扫描以及在微区上进行元素的选点分析，线扫描分析和面分布分析。