参考答案：用聚焦电子束（电子探测针）照射在试样表面待测的微小区域上，激发试样中诸元素的不同波长（或能量）的特征X射线。用X射线谱仪探测这些X射线，得到X射线谱。根据特征X射线的波谱（或能量）进行元素定性分析；根据特征X射线的强度进行元素的定量分析。