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二次电子有什么特点?

答案

参考答案:

特点:能量低:<50ev;反映试样表面10nm层内的状态;成像分辨率高。

二次电子发射系数δ与入射束的能量有关,因此二次电子成像时要选择适当的加速电压。二次电子发射系数和试样表面倾角θ有关,它们之间存在如下关系:

δ(θ)=δ0/cosθ;二次电子在试样上方的角分布也服从余弦分布。

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