参考答案：

（1）10-30mm的试样，制样简单；

（2）场深大、适于粗糙表面和断口，图像富有立体感和真实感；

（3）放大倍率变化范围大15倍～20万倍；

（4）分辨率：3-6nm；

（5）可用电子学方法、控制和改善图像质量；

（6）可多功能分析（微区成分、阴极荧光图像和阴极荧光光谱、晶体管或集成电路的PN结及缺陷）；

（7）可动态分析（加热、冷却、拉伸等）。