参考答案：

1、聚焦电子束作照明光源：电子枪产生的电子束，经1-2级聚光镜会聚后，均匀地照射试样上的某一待观察的微小区域上。

2、入射电子与试样物质相互作用，由于试样很薄，绝大部分电子穿透试样，其强度分布与试样的形貌、组成、结构一一对应。

3、透射出的电子经一系列透镜放大投射到荧光屏上。

4、荧光屏把电子强度分布转变为可见光强度分布的图像。