以下关于MEMS概念的描述中，错误的是（）。

A.通过微细加工技术及微机械加工技术在半导体基板上制作的微型电子机械装置

B.在微电子学中衡量集成电路设计和制造水平的重要尺度是特征尺寸

C.特征尺寸为1μm~10mm为小型机构

D.特征尺寸为1nm~10μm为纳米机械