纳米技术是高新科学技术和工程技术，纳米是很小的长度单位，1nm=10^-9m，若一个原子的直径为10^-10m，把_______个原子一个挨一个地排列起来，长度是1nm。

工件淬火及（）的复合热处理工艺，称为调质。