参考答案：

1、影响加工速度的因素：

1）工具的振幅和频率；

2）进给压力；

3）磨料悬浮液；

4）被加工材料；

2、影响加工精度的因素：超声加工的精度除受机床、夹具精度影响外，主要与工具制造及安装精度、工具的磨损、磨料粒度、加工深度、被加工材料性质等有关。

3、影响表面质量的因素：加工表面质量主要与磨料粒度、被加工材料性质、工具振动的振幅、磨料悬浮液的性能及其循环状况有关。