问题
问答题 简答题
分别写出刻蚀及去PSG的工艺控制流程？
答案
参考答案：刻蚀的流程：预抽，主抽，送气，辉光，清洗，预抽，主抽，充气
去PSG的流程：酸洗（HF），溢流水洗，喷淋，甩干
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分别写出刻蚀及去PSG的工艺控制流程？
参考答案：刻蚀的流程：预抽，主抽，送气，辉光，清洗，预抽，主抽，充气
去PSG的流程：酸洗（HF），溢流水洗，喷淋，甩干