根据不同的行政职能标准，行政程序可分为（）。

A.行政立法程序、行政执法程序和行政司法程序

B.内部行政程序和外部行政程序

C.抽象行政行为程序和具体行政行为程序

D.意定行政程序和法定行政程序

在生产过程中必须使用（）来完成浅沟槽隔离STI。

A.单晶硅刻蚀

B.多晶硅刻蚀

C.二氧化硅刻蚀

D.氮化硅刻蚀