参考答案：

（1）控制活性粒子和非活性粒子的污染；（2）迅速、有效地吸收粒子并送出室外；（3）防止活性粒子聚积；（4）防止洁净室（区）和外环境之间的交叉污染；（5）提供相应的空气温度和湿度，提高工作人员的舒适性。