中国古代实行君主集权于上、行政体制分权于下的权力制衡体制，它包含两种专制模式，一是实行集体宰相制度，二是在正式行政体制之外另设机构，以达到分权的目的。下列选项包含这两种专制模式的是

A．唐朝实行三省六部制；宋朝设参知政事、枢密使和三司使

B．汉武帝“中外朝制度”；清朝设立军机处

C．唐朝实行三省六部制；明朝设置内阁制

D．明朝设置内阁制；清朝设立军机处

根据曝光方式的不同，光学光刻机可以分成几类？各有什么优缺点？