问题
问答题 简答题
溅镀机抽不上真空有几种可能？
答案
参考答案：
（1）检查气管是否有漏气；
（2）清理PA、SA与主仓接触部位；
（3）检查真空泵油位情况；
（4）关闭程序，关闭电源，重新开机。
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溅镀机抽不上真空有几种可能？
参考答案：
（1）检查气管是否有漏气；
（2）清理PA、SA与主仓接触部位；
（3）检查真空泵油位情况；
（4）关闭程序，关闭电源，重新开机。