问题 问答题 简答题

7.0旋涂碗电机不转有哪些原因?

答案

参考答案:

(1)盘片吸真空不好;

(2)电机不转,没电或坏;

(3)电机驱动器故障。

单项选择题 A3/A4型题
单项选择题