问题
问答题 简答题
四个旋涂碗都不下料，怎么办？
答案
参考答案：
（1）检查染料情况；
（2）检查dye泵工作情况，有没有压缩空气，是否关闭dye泵；
（3）检查dye泵膜片是否破损。
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四个旋涂碗都不下料，怎么办？
参考答案：
（1）检查染料情况；
（2）检查dye泵工作情况，有没有压缩空气，是否关闭dye泵；
（3）检查dye泵膜片是否破损。