参考答案：

（1）有利于旋涂室内恒定的温湿度；

（2）恒温恒湿机可以用来调整OD；

（3）不太受外界环境影响；

（4）其本身为第二段的温度应比第一段温度高5~1℃。（因需先加热后才向旋涂室供风）；

（5）恒温恒湿机循环水是否正常。