参考答案：

（1）、尽量少开旋涂室的门，控制温湿度；

（2）、旋涂室的温度应对外部环境略高些，基本为30℃。湿度为30%；

（3）、各离子风机的状态；

（4）、各旋涂碗的安装下染料针头是否清洁；

（5）、各机械手的位置、染料泵、真空泵的工作状态等；

（6）、白片及OD的测量（基本为2小时测一次，特殊情况除外）；

（7）、各抽风供风系统是否良好运行。