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如何调整旋涂中心孔染料点、旋涂射线和旋涂不圆?

答案

参考答案:

(1)针头要与碟片有一定角度,不可以过大。针头与碟片之间的距离要保持好,一般以两张白片厚度为宜,通过旋涂观察。针头的下dye时间要稍大于手臂的运动时间。

(2)首先,下dye要均匀,不可有下dye量明显不稳的情况发生。而且,第2段下dye量要比第一段下dye量要大。还可以调整dye泵的工作频率,大一点儿为宜。

(3)调整下dye手臂的速度、第一段旋涂的转数大小和时间。

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