参考答案：

工作模式：点线面三种。

能谱仪的特点：

1.所用的Si探测器尺寸小，可装在靠近样品的区域；

2.分析速度快，可在2-3分钟内完成元素定性全分析；

3.能谱仪不受聚焦圆的限制；

4.工作束流小，对样品污染小；

5.能进行低倍X射线扫描成像，得到大视域的元素分布图；

6.分辨本领比较低；

7.峰背比小；

8.Si探测器必须在液氮温度下使用，维护费用高。