作为推行“低碳经济”的重要科技进步成果．太阳能光伏发电成为上海世博会的“亮点”．太阳能光伏发电最关键的材料是高纯硅，生产高纯硅的流程示意图如下：

（1）写出从粗硅到SiHCl₃的化学方程式______．

（2）“精馏”也是蒸馏的一种形式．通过蒸馏可把液体混合物分离开，原理是利用混合物各成分的______（填“熔点”或“沸点”）不同．

（3）整个制备过程必须达到无水无氧．在H₂还原SiHCl₃，过程中若混入O₂，可能引起的后果是______；______．

（4）为了达到资源综合利用，上述生产流程中某些物质可循环使用，这些物质是______（填化学式）．

（5）石英砂的主要成分是SiO₂，含有少量杂质Al₂O₃．若要除去石英砂中少量的杂质，可选用的试剂是______（填化学式）．

常压下，在0℃～100℃范围内水可出现（）相变化。

A、固、汽

B、汽、液

C、固、液

D、固、汽、液