参考答案：干涉显微镜是利用光波干涉原理测量表面粗糙度。光学系统利用分光板将光分成两路，再汇交于目镜。由于两束光有光程差，故汇交时发生干涉，在目镜中可见弯曲的干涉条纹。由干涉条纹的弯曲度、相邻干涉条纹间距及光波的波长可求得微观表面轮廓波形高度。