问题
问答题 简答题
IC对金属材料特性有何要求?
答案
参考答案:
1、与n+、p+硅或多晶硅形成低阻的欧姆接触(接触电阻小),利于提高电路速度,
2、抗电迁移性能好,长时间在较高电流密度负荷下,金属材料的电迁移现象不致引起金属引线失效,
3、与绝缘体(SiO2)有良好的附着性,
4、耐腐蚀,
5、易于淀积和刻蚀,
6、易于键合,且键合点能经受长期工作,
7、多层互连要求层与层之间绝缘性好,不互相扩散和渗透,要求有一个扩散阻挡层