问题
问答题 简答题
为何热氧化时要控制钠离子含量？降低钠离子污染的措施有哪些？
答案
参考答案：
因为氧化层中如含有高浓度的钠，则线性和抛物型氧化速率常数明显变大。措施有：加强工艺卫生方可以避免Na+沾污；也可采用掺氯氧化，固定Na+离子；高纯试剂。
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为何热氧化时要控制钠离子含量？降低钠离子污染的措施有哪些？
参考答案：
因为氧化层中如含有高浓度的钠，则线性和抛物型氧化速率常数明显变大。措施有：加强工艺卫生方可以避免Na+沾污；也可采用掺氯氧化，固定Na+离子；高纯试剂。