参考答案：

（1）离子源，离子源的任务是提供所需的杂质离子；

（2）质量分析器，对从离子源出来的离子进行筛选；

（3）加速器，保证注入离子的能量满足一定的要求；

（4）束流扫描器，离子束是一条直径约1~3的线状高速离子流，必须通过扫描覆盖整个注入区。