问题
问答题 简答题
双极型集成电路的工艺流程具体有哪些?
答案
参考答案:
1、衬底制备;
2、生长埋层(埋层氧化、光刻、掺杂);
3、外延生长;
4、生长隔离区(隔离氧化,隔离光刻,隔离扩散);
5、生长基区;
6、发射区和集电极接触区生长;
7、形成金属连线。
双极型集成电路的工艺流程具体有哪些?
参考答案:
1、衬底制备;
2、生长埋层(埋层氧化、光刻、掺杂);
3、外延生长;
4、生长隔离区(隔离氧化,隔离光刻,隔离扩散);
5、生长基区;
6、发射区和集电极接触区生长;
7、形成金属连线。