问题 问答题 简答题

双极型集成电路的工艺流程具体有哪些?

答案

参考答案:

1、衬底制备;

2、生长埋层(埋层氧化、光刻、掺杂);

3、外延生长;

4、生长隔离区(隔离氧化,隔离光刻,隔离扩散);

5、生长基区;

6、发射区和集电极接触区生长;

7、形成金属连线。

单项选择题
单项选择题