参考答案：

①多层电极有用于微波晶体管、超高频低噪声管等器件的铝基系统和用于高频大功率管的金基系统两种。

②大体可分为四层：欧姆接触层、粘附层、阻挡层以及导电层。

③欧姆接触层的作用是与半导体层形成良好的欧姆接触；粘附层起到将接触层与二氧化硅和上面的金属层粘和起来的作用；阻挡层一方面是为了防止导电层材料渗透至器件表面与硅形成合金，另一方面又要阻挡导电层与下层金属形成高阻化合物