问题 问答题 简答题

简述直拉法生长单晶硅的工艺过程,并说明每个步骤各自有什么作用?

答案

参考答案:

(1)引晶,可以使熔融硅与籽晶间温度平衡;

(2)缩颈,是为了消除籽晶原有的缺陷或引晶时由于温度变化引起的新生缺陷;

(3)放肩,使晶体逐渐长大至所需直径;

(4)等径生长,使晶体逐渐长大至所需长度;

(5)收尾,是为了避免晶棒离开熔融液时急速降温而产生的缺陷向上延伸。

选择题
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