问题
问答题 简答题
简述直拉法生长单晶硅的工艺过程,并说明每个步骤各自有什么作用?
答案
参考答案:
(1)引晶,可以使熔融硅与籽晶间温度平衡;
(2)缩颈,是为了消除籽晶原有的缺陷或引晶时由于温度变化引起的新生缺陷;
(3)放肩,使晶体逐渐长大至所需直径;
(4)等径生长,使晶体逐渐长大至所需长度;
(5)收尾,是为了避免晶棒离开熔融液时急速降温而产生的缺陷向上延伸。
简述直拉法生长单晶硅的工艺过程,并说明每个步骤各自有什么作用?
参考答案:
(1)引晶,可以使熔融硅与籽晶间温度平衡;
(2)缩颈,是为了消除籽晶原有的缺陷或引晶时由于温度变化引起的新生缺陷;
(3)放肩,使晶体逐渐长大至所需直径;
(4)等径生长,使晶体逐渐长大至所需长度;
(5)收尾,是为了避免晶棒离开熔融液时急速降温而产生的缺陷向上延伸。