参考答案：

（1）参加反应的气体混合物被输运到沉积区；

（2）反应物由主气流扩散到衬底表面；

（3）反应物分钟吸附在衬底表面上；

（4）吸附物分子间或吸附分子与气体分子间发生化学反应，生成原子和化学反应副产物，原子沿衬底表面迁移并形成薄膜；

（5）反应副产物分子从衬底表面解吸。