问题
问答题 简答题
掺杂是什么意思?有哪些常见的技术?
答案
参考答案:
将所需要的杂质加入到wafer内部,并使其在wafer中的一部分区域按照一定的浓度分布,从而改变器件的电学性能。掺入的杂质一般是Ⅲ族和Ⅴ族的元素。常用的掺杂技术有扩散和离子注入两种。
掺杂是什么意思?有哪些常见的技术?
参考答案:
将所需要的杂质加入到wafer内部,并使其在wafer中的一部分区域按照一定的浓度分布,从而改变器件的电学性能。掺入的杂质一般是Ⅲ族和Ⅴ族的元素。常用的掺杂技术有扩散和离子注入两种。