问题 问答题 简答题

阈值电压VT与衬底掺杂浓度是什么关系?采取什么方式或手段以调整VT大小?影响VT的其它因素有哪些?

答案

参考答案:

MOS管的阈值电压VT与衬底的掺杂浓度Na密切相关,掺杂浓度越大,VT的值越大。

用离子注入的方法可以控制Na,从而调整必要的VT的值材料的功函数之差。

SIO2层中的可移动的正离子、氧化层中固定电荷、界面势阱。

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