问题
问答题 简答题
阈值电压VT与衬底掺杂浓度是什么关系?采取什么方式或手段以调整VT大小?影响VT的其它因素有哪些?
答案
参考答案:
MOS管的阈值电压VT与衬底的掺杂浓度Na密切相关,掺杂浓度越大,VT的值越大。
用离子注入的方法可以控制Na,从而调整必要的VT的值材料的功函数之差。
SIO2层中的可移动的正离子、氧化层中固定电荷、界面势阱。
阈值电压VT与衬底掺杂浓度是什么关系?采取什么方式或手段以调整VT大小?影响VT的其它因素有哪些?
参考答案:
MOS管的阈值电压VT与衬底的掺杂浓度Na密切相关,掺杂浓度越大,VT的值越大。
用离子注入的方法可以控制Na,从而调整必要的VT的值材料的功函数之差。
SIO2层中的可移动的正离子、氧化层中固定电荷、界面势阱。