问题 问答题 简答题

什么是干法刻蚀?干法有几种刻蚀方法?

答案

参考答案:

用等离子体对薄膜线条进行刻蚀的一种新技术。

分为等离子体刻蚀、反应离子刻蚀RIE、磁增强反应离子刻蚀、高密度等离子刻蚀等类型。

配伍题 B型题
单项选择题 A1/A2型题