问题 问答题 简答题

什么是光刻?光刻的主要流程有哪些?

答案

参考答案:

光刻就是通过一系列生产步骤,将晶圆薄膜的特定部分去除的工艺。

流程有晶圆涂光刻胶、曝光、显影、烘干。

单项选择题
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