问题 问答题 简答题

湿法刻蚀有什么缺点?

答案

参考答案:

抗蚀剂中的小窗口会由于毛细作用而使得接触孔不能被有效浸润、被分解的材料不能被有效从反应区中清除。

填空题
单项选择题