问题 问答题 简答题 光刻的曝光方式有几种?各有何特点? 答案 参考答案:接触和非接触两种,非接触分为接近式和投影式接触式:精确度高,但掩膜易磨损,消耗大非接触式接近式:解决了磨损问题,但分辨率下降投影式:分辨率高,不存在掩膜磨损问题,但生产量不高