参考答案：

接触和非接触两种，非接触分为接近式和投影式

接触式：精确度高，但掩膜易磨损，消耗大非接触式

接近式：解决了磨损问题，但分辨率下降

投影式：分辨率高，不存在掩膜磨损问题，但生产量不高