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物理气相沉积(PVD)

答案

参考答案:

利用电弧、高频电场、等离子体等高温热源将原料加热至高温,使之气化或形成等离子体,然后通过骤冷,使之凝聚成晶须、薄片、晶粒等各种形态。

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