男，41岁，发现右上颈包块2个月，病理活检为低分化鳞癌，原发灶最常位于（）

A.上颌窦

B.鼻咽部

C.下咽部

D.扁桃体

E.喉

典型的光刻工艺主要有哪几步？简述各步骤的作用。