问题
问答题 简答题
为什么硅片热氧化结束时通常还要进行氢气或氢－氮混合气体退火？
答案
参考答案：
距Si/SiO2界面2nm以内的Si的不完全氧化是带正电的固定氧化物电荷区；对于器件的正常工作，界面处的电荷堆积是不受欢迎的；通过在氢气或氢一氮混合气中低温450℃退火，可以减少这种不可接受的电荷。
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为什么硅片热氧化结束时通常还要进行氢气或氢－氮混合气体退火？
参考答案：
距Si/SiO2界面2nm以内的Si的不完全氧化是带正电的固定氧化物电荷区；对于器件的正常工作，界面处的电荷堆积是不受欢迎的；通过在氢气或氢一氮混合气中低温450℃退火，可以减少这种不可接受的电荷。
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